用途特點：
本產品適用于半導體加工，該烘箱采用垂直熱循環方式，進行精確的溫度控制。
技術特點：
采用垂直送風系統，垂直腔體模塊安裝在垂直腔體頂部，與傳統安裝方式相比，減少安裝空間20-60%。提高生產線生產效率，節省設備空間；
內腔采用SUS304拉絲板，并且為整體式焊接工藝，保證了烘箱在運行時的腔體內清潔和預防了產品表面的沾污；
內門結構后門為單結構，采用雙密封結構，防止熱量流失；
整體框架的高度和水平度可通過地腳螺栓實現微調；
大容積的設計，由于改進了隔斷和支撐板，可以同時承受更多的產品重量；
優異的熱工性能，使加熱性能大大提高,運行時不會影響環境，室內溫度保持不變。
過程控制：
多段式程序控制，完全滿足現場各種工藝需求；
與配套AUTORECIPE軟件，實時溫度監控軟件，可實現產品烘箱運行參數管理與生產運行記錄、烘箱操作日志等，提高生產效率、控制產品品質。
設備特點：
堅持工藝優先的設計原則,即先制定最為優化的工藝配置，再確定設備結構和布局，以確保工藝最穩定，材料利用最合理，力求提升設備穩定性和降低運行成本；
本著人性化的設計理念,即在細節上充分考慮現場情況，并不斷完善設計，使現場使用者更加方便地使用，維護本烘箱；
可以提供各種標準和非標準腔體設計，包括溫度范圍，容量大小和烘箱形狀等；
提供高性價比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩定性、升溫速率、溫度恢復時間等工藝條件；
可定制層板，滿足承重與間距要求；
溫度均勻度依照GBT30435-2013；
設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準；
滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口，工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控；
提供相應的檢測報告，烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等；
配套完整的產品使用手冊及說明。
型號 | MF-OVV**** |
1600 | 1640 | 1800 |
循環系統 | 熱風循環系統 |
性能參數 | 溫度范圍 | RT. + 25°C ~250°C |
溫度波動范圍 | （0-100℃）<±1℃（100-200℃）<±2℃ |
溫度均勻性 | （0-100℃）<1℃（100-200℃）<2℃ |
升溫時間 | < 30Min（175℃）& < 40Min（200℃） |
烘箱結構 | 烘箱外腔體選材 | 烤漆、不銹鋼 |
烘箱內腔體選材 | SUS304 |
保溫材料 | 高密度陶瓷纖維棉 |
加熱 | 無塵加熱絲或不銹鋼加熱管 |
冷卻方式 | 風冷、多段式冷卻 |
內腔尺寸W *H *D （mm） | 600 *600* 1100 | 640 *640 * 1100 | 800 *800 * 1300 |
外形尺寸W * H *D （mm） | 1030 * 950 * 1900 | 1030* 950 * 1900 | 1200 * 1100 * 2100 |
容積 (L) | 360 | 450 | 830 |
使用環境 | 溫度范圍: 小于 + 45°C 濕度范圍: 小于 75%rh |
動力配置 | 電源配置 | AC380V 3PH | AC380V 3PH | AC380V 3PH |
烘箱功率 | 13KVA | 13KVA | 16KVA |
基本功能配置：
電源缺相保護；
漏電保護器；
電磁門鎖（氣缸門鎖）；
過載保險絲；
超溫保護器；
加熱器防干燒；
馬達轉速檢測；
N2壓力檢測；
N2過濾調壓閥；
選配功能：
在線氧含量檢測；
N2流量檢測；
高低溫表設定聯動；
腔體壓力檢測；
自動排風裝置；
廢氣沉淀回收裝置；
